[发明专利]一种超声水热电沉积制备涂层或薄膜的方法及其装置

摘要

一种超声水热电沉积制备涂层或薄膜的方法及其装置，该装置包括水热釜体以及设置在水热釜体内与电源相连接的电极，水热釜体的外侧还设置与超声波发生器相连接的超声波发生槽，超声波发生槽通过出液管和回液管与恒温槽相连通，本发明使阴、阳极均置于反应的水热釜体内，从而将电沉积与水热沉积融为一体，通过恒温槽对水热釜体进行温度控制，在超临界条件下直接合成致密的涂层或薄膜，利用电沉积控制沉积的厚度，避免了后期热处理，简化了制备工艺，节约了成本，并将水热釜体置于超声波发生槽内，使水热釜体的内电解液处于超声波场中，从而将超声波技术、电沉积和水热技术融合一起，提高了涂层或薄膜与基体的结合力。

主权项

1、一种超声水热电沉积制备涂层或薄膜的装置，包括水热釜体[9]以及设置在水热釜体[9]内与电源[5]相连接的电极[4]，其特征在于：水热釜体[9]的外侧还设置与超声波发生器[1]相连接的超声波发生槽[2]，超声波发生槽[2]通过出液管[12]和回液管[18]与恒温槽[15]相连通。