[发明专利]受激准分子灯

摘要

本发明提供一种受激准分子灯，其在外表面设置了外侧电极的放电容器内设置了内部电极，防止在从设置成在上述放电容器内覆盖内部电极的内侧管的至少一端的开放部露出的内部电极、和外侧电极之间的不期望的沿面放电。其特征在于，在放电容器内覆盖内部电极地设置的内侧管的端部，设置沿面放电防止单元，该沿面放电防止单元防止从该内侧管突出的内部电极和外侧电极之间的沿面放电。

主权项

1、一种受激准分子灯，包括：封入有放电用气体的放电容器、使该放电容器的内部在长度方向上延伸并且在放电容器的端部被气密地密封的内部电极、以及配置在放电容器外面的外侧电极，其特征在于，上述内部电极的、至少在其与外侧电极之间进行放电的部位的外表面，由至少一端被开放在放电空间内且由电介质材料构成的内侧管来覆盖，该内侧管在长度方向上超越对应的外侧电极端部而延伸，在该端部具有沿面放电防止单元，该沿面放电防止单元防止在从上述内侧管突出的内部电极与外侧电极之间的不期望的沿面放电。