[发明专利]正性抗蚀剂组合物与抗蚀剂图案形成方法无效
| 申请号： | 200510070085.1 | 申请日： | 2005-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1696831A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 米村幸治;中绪卓 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈长会 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种正性抗蚀剂组合物，它包括：其碱溶性通过酸的作用而改变的树脂组分(A)、酸生成剂组分(B)、和聚丙二醇，其中所述组分(A)包括含有由通式(I)表示的构成单元(a1)、由通式(II)表示的构成单元(a2)和具有酸解离溶解抑制基团的构成单元(a3)的树脂组分(A1)，其中R表示氢原子或甲基，而m表示1～3的整数，其中R表示氢原子或甲基，R1表示具有1～5个碳原子的烷基，而l表示0～3的整数。 | ||
| 搜索关键词： | 正性抗蚀剂 组合 抗蚀剂 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种正性抗蚀剂组合物，它包括：树脂组合物(A)，其碱溶性通过酸的作用而改变；酸生成剂组分(B)；和聚丙二醇，其中所述组分(A)包括含有由通式(I)表示的构成单元(a1)、由通式(II)表示的构成单元(a2)和具有酸解离溶解抑制基团的构成单元(a3)的树脂组分(A1)，![]()
其中R表示氢原子或甲基，而m表示1～3的整数，![]()
其中R表示氢原子或甲基，R1表示具有1～5个碳原子的烷基，而1表示0～3的整数。
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