[发明专利]红外线图像传感器及其真空封装方法

摘要

一种红外线图像传感器及其真空封装方法。此红外线图像传感器包含有一陶瓷基座、一金属上盖、以及一红外线滤光片；陶瓷基座之上粘着一红外线图像传感器晶方，而金属上盖的内面则配置有吸气剂；红外线滤光片则用来密封金属上盖的可透光开口。此真空封装方法则是在真空腔体中分别加热陶瓷基座、金属上盖、以及红外线滤光片，以活化吸气剂并将陶瓷基座、金属上盖与红外线滤光片粘焊在一起。

主权项

1.一种红外线图像传感器，至少包含：一陶瓷基座，粘着一红外线图像传感器晶方于其上；一金属上盖，具有一可透光开口，其中该金属上盖的一内面配置一吸气剂；以及一红外线滤光片，耦合于所述的金属上盖之上。