[发明专利]渐变式光学薄膜镀制装置及其冶工具套环无效
| 申请号： | 200510065422.8 | 申请日： | 2005-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN1840732A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 黄建铭 | 申请（专利权）人： | 亚洲光学股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C14/22 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人： | 费开逵 |
| 地址： | 台湾省台中县潭子乡*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种渐变式光学薄膜镀制装置，包括一镀材源，一基板位于镀材源的上侧，基板可绕一中心轴线旋转，基板的镀膜面朝向镀材源，该镀膜面可接收镀材源的镀材并于其上形成镀膜，其中基板的镀膜面上设置一遮板，该遮板的高度、厚度、及其与基板的夹角由镀膜层的渐变斜率及渐变范围决定。 | ||
| 搜索关键词： | 渐变 光学薄膜 装置 及其 工具 | ||
【主权项】：
1.一种渐变式光学薄膜镀制装置，包括一镀材源，至少一个基板位于镀材源的一侧，基板的镀膜面朝向镀材源，该镀膜面可接收镀材源的镀材并于其上形成镀膜，其特征在于：靠近于基板的镀膜面的一侧设置有一遮板，该遮板具有特定的高度及厚度，并与基板间具有一特定的夹角，通过控制遮板的高度、厚度及其与基板间的夹角可以控制镀膜层的渐变斜率及渐变范围。
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