[发明专利]显示装置及其制造方法，以及电视机接收器有效
| 申请号： | 200510051846.9 | 申请日： | 2005-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN1677645A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 前川慎志;山崎舜平;小路博信 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | H01L21/82 | 分类号： | H01L21/82;H01L21/336;G02F1/136 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 卢新华;庞立志 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了在一种用于制造显示装置的方法，包括以下步骤，利用感光材料在基底上形成第一薄膜图案，利用激光束对其进行照射使第一薄膜图案曝光，以此方式形成第二薄膜图案，将第二薄膜图案的表面变成微滴脱落表面，利用微滴排出方法，通过将导电材料排放到微滴脱落表面的外缘，而形成源极和漏极，并在源极和漏极上，形成半导体层，栅绝缘层，和栅极。 | ||
| 搜索关键词： | 显示装置 及其 制造 方法 以及 电视机 接收器 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造显示装置的方法，包括以下步骤：在基底上形成包含有感光材料的薄膜；在利用激光束对其进行照射之后使薄膜显影，以此方式形成图案，将图案的一个表面变成微滴脱落表面，利用微滴排出方法，通过将导电材料排放到具有微滴脱落表面的图案外缘上，而形成源极和漏极；以及在源极和漏极上，形成半导体层、栅绝缘层和栅极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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