[发明专利]一种防护涂层及其制备方法无效
| 申请号： | 200510046367.8 | 申请日： | 2005-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN1858295A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | 谢冬柏;辛丽;朱圣龙;冯长杰;王世臣;王福会;李明升 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/46 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110015辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种防护涂层，选用TiAl合金(含Al原子百分比为10％～30％)和纯Ti为靶材。所述涂层是施加中间层的TiAlN/TiN梯度涂层。其中：TiN合金涂层(2)直接沉积在基体(1)表面，然后在其表面依次沉积TiAl10N层(3)、TiAl20N层(4)及TiAl30N层(5)。本发明一种防护涂层的制备方法：首先在基体(1)表面制备TiN合金涂层(2)；然后在其表面依次沉积TiAl10N层(3)、TiAl20N层(4)及TiAl30N层(5)。本发明通过不同成分靶材和工艺参数的控制，解决了阻碍涂层应用于防腐领域的针孔、空洞及涂层之间的元素互扩散，结合力问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防护 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种防护涂层，其特征在于：所述涂层是多层TiAlN/TiN涂层。
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