[发明专利]一种用于真空系统防止晶片颗粒缺陷的方法及其装置

摘要

一种用于真空系统防止晶片颗粒缺陷的方法，包括：采集颗粒，颗粒计数分析，颗粒计数分析结果信息送到气压阀控制器，气压阀控制器选择驱动第一或第二开关阀门，在两个开关阀门之间切换；用于该方法的装置，包括：开关阀组件，其具有第一开关阀门和第二开关阀门，颗粒分析仪，气压阀控制器；由开关阀门产生的颗粒处于实时监测之中，一个阀门工作，而另一个阀门备用，通过颗粒信息的传递和控制，使两个阀门之间进行自动或手动切换，保证机台的连续运转和晶片的合格率。

主权项

1.一种用于真空系统防止晶片颗粒缺陷的装置，包括：开关阀组件，用于集群式真空反应设备的相邻腔体之间，其具有第一开关阀门，其单方向单独密封反应腔体，在关状态时隔绝两个不同的相邻腔体，使它们分别在不同压力下，可以同时各自进行不同的工艺，在开状态时成为传输晶片进出腔体的通道；气压阀控制器，用于开关阀门开/关状态的控制；其特征在于，还包括：颗粒采样通道，其一端在开关阀门的下端设置有采样点，另一端与颗粒分析仪连接；颗粒分析仪，设置在开关阀组件远程，一方面与颗粒采样通道相连，另一方面与气压阀控制器相连；所述的开关阀组件，还包括第二开关阀门，其与第一开关阀门构成双开关阀门形式，第一开关阀门和第二开关阀门上下颠倒设置，互为备用。