[发明专利]宏／微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位系统

摘要

宏/微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位系统，它涉及一种运动定位系统。本发明解决了现有定位系统串联结构基层平台直线运动惯量大；并联结构解耦装置结构设计困难及多关节并联杆机构末端执行器竖直方向刚度差的问题。本发明的基座1上固定有轴线相互垂直的X轴直线驱动装置2和Y轴直线驱动装置3，X轴直线驱动装置2与X轴移动平台总成8固接，Y轴直线驱动装置3与Y轴移动平台总成9固接，X轴移动平台总成8与X轴末端平台10之间铰接有X轴平行连杆机构12，Y轴移动平台总成9与Y轴末端平台11之间铰接有Y轴平行连杆机构13，X轴末端平台10和Y轴末端平台11与末端输出平台15固接。本发明具有高精度高加速度的优点。

主权项

1、一种宏/微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位系统，它包括基座(1)、X轴直线驱动装置(2)、Y轴直线驱动装置(3)、X轴直线导轨、Y轴直线导轨、X轴直线光栅(4)、Y轴直线光栅(5)；其特征在于它还包括X轴导轨支座(6)、Y轴导轨支座(7)、X轴移动平台总成(8)、Y轴移动平台总成(9)、X轴末端平台(10)、Y轴末端平台(11)、X轴平行连杆机构(12)、Y轴平行连杆机构(13)、气浮支座(14)、末端输出平台(15)；基座(1)的对顶角上分别固定有X轴导轨支座(6)和Y轴导轨支座(7)，X轴导轨支座(6)的轴线与Y轴导轨支座(7)的轴线交点处的基座(1)上固定有气浮支座(14)，气浮支座(14)的上端面与末端输出平台(15)的下端面固定连接，X轴导轨支座(6)内的基座(1)上固定有X轴直线驱动装置(2)，Y轴导轨支座(7)内的基座(1)上固定有Y轴直线驱动装置(3)，X轴直线驱动装置(2)的轴线与Y轴直线驱动装置(3)的轴线垂直，X轴直线驱动装置(2)的两端分别与X轴移动平台总成(8)固定连接，Y轴直线驱动装置(3)的两端分别与Y轴移动平台总成(9)固定连接，X轴导轨支座(6)的凹槽内固定有X轴直线导轨，Y轴导轨支座(7)的凹槽内固定有Y轴直线导轨，X轴直线导轨上装有X轴移动平台总成(8)，Y轴直线导轨上装有Y轴移动平台总成(9)，X轴移动平台总成(8)与固定在末端输出平台(15)上的X轴末端平台(10)之间铰接有X轴平行连杆机构(12)，Y轴移动平台总成(9)与固定在末端输出平台(15)上的Y轴末端平台(11)之间铰接有Y轴平行连杆机构(13)，X轴移动平台总成(8)中的X轴下层大移动平台(8-9)的外侧具有X轴直线光栅(4)，Y轴移动平台总成(9)中的Y轴下层大移动平台(9-9)的外侧具有Y轴直线光栅(5)；所述的末端输出平台(15)内的平面光栅尺(15-1)的上面具有平面光栅读数头(15-2)。