[发明专利]氮化钛膜的成膜

摘要

本发明提供一种通过使四氯化钛与氨反应，在基板上形成氮化钛膜的方法，该方法减少底层的腐蚀。通过使四氯化钛与氨在由供给决定速率的区域中反应，一边将底层的腐蚀抑制到最小限度，一边在基板上形成第一氮化钛层。接着，通过使四氯化钛与氨在由反应决定速率的区域中反应，一边确保良好的阶梯覆盖，一边在第一氮化钛层上形成第二氮化钛层。

主权项

1.一种成膜方法，通过使四氯化钛与氨反应，在被处理基板上形成氮化钛膜，其特征在于，具有：通过使所述四氯化钛与所述氨在由供给决定速率的区域中反应，在所述被处理基板上形成第一氮化钛层的第一步骤；和通过使所述四氯化钛与所述氨在由反应决定速率的区域中反应，在所述第一氮化钛层上形成第二氮化钛层的第二步骤。