[发明专利]布线形成方法、布线形成装置以及布线板无效
| 申请号： | 200480038363.9 | 申请日： | 2004-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1899004A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 新饲道典;铃木敏 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/10 | 分类号： | H05K3/10;B05C5/00;B05C11/10;B05D1/26;B05D5/12;H01L21/288 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在执行了用于在衬底上形成第一图形的第一图形形成步骤和用于在衬底上形成第二图形的第二图形形成步骤中的一个形成步骤之后，执行另一个形成步骤，由此在衬底上形成高可靠性的布线图形。 | ||
| 搜索关键词： | 布线 形成 方法 装置 以及 | ||
【主权项】：
1.一种布线形成方法，按照在衬底上液体彼此接触的方式提供用于形成第一图形的第一液体以及与第一液体不同的用于形成第二图形的第二液体，由此在衬底上由第一和第二图形形成布线图形，该方法包括：第一图形形成步骤，将第一液体提供到衬底，由此在衬底上形成第一图形；第二图形形成步骤，将第二液体提供到衬底，由此在衬底上形成第二图形；其中在执行第一图形形成步骤和第二图形形成步骤中的一个步骤之后，执行另一个形成步骤。
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