[发明专利]在溅射处理系统中的等离子体转换的控制无效
| 申请号： | 200480023784.4 | 申请日： | 2004-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN1839459A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | J·C·塞勒司 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 控制用于材料处理的等离子体的方法和装置，其特征是耦合到等离子体容器和电源的谐振电路和开关单元的协作行动。用于获取与等离子体容器中的等离子体的状态相关联的信号的传感器支持开关单元的闭环控制。由该传感器检测到的不期望的等离子体状态能够通过闭合开关单元以分路谐振电路来消除。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 处理 系统 中的 等离子体 转换 控制 | ||
【主权项】：
1、一种控制用于材料处理的等离子体的装置，该装置包括：与电源的输出和等离子体容器的输入进行电气通信的谐振电路，所述谐振电路用于存储和释放能量；用于获取与等离子体容器中的等离子体的状态相关联的信号的传感器；以及响应信号在第一状态和第二状态之间可以转换的开关单元，所述开关单元的第二状态用于分路所述谐振电路以允许使等离子体的状态发生改变的所述谐振电路的谐振。
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