[发明专利]金属氧化物被膜的成膜方法及蒸镀装置无效
| 申请号： | 200480019422.8 | 申请日： | 2004-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN1820091A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 下崎新二;小笠原忠司;永冈佐太延;正木康浩 | 申请（专利权）人： | 住友钛株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/455;B01J35/02;C01G23/07 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 利用使TiCl4蒸气和水蒸气反应的CVD法，制造在基材表面具有氧化钛光催化剂被膜的光催化剂复合材。在蒸镀室(9)内分别从喷嘴(5)及喷嘴(6)以它们的喷射流在到达基材前交叉的方式喷射TiCl4蒸气和水蒸气，混合两蒸气。从该混合开始在3秒以内，使混合蒸气与向1方向移动的基材(1)接触。优选，从配置在与基材前进方向相反的方向的多孔式喷嘴(5)喷射TiCl4蒸气，从与基材的交叉角更小的缝隙式喷嘴(6)喷射水蒸气。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种金属氧化物被膜的成膜方法，包括：蒸镀工序，通过使水解性金属化合物的蒸气和水蒸气与基材接触，在基材表面上形成金属氧化物前驱体的被膜；和烧成工序，通过将该基材接着在氧化性气氛中加热，使所述前驱体转化为金属氧化物，其特征在于：在蒸镀工序中，预先混合要使用的水解性金属化合物的蒸气和水蒸气，在从混合开始3秒以内，使混合蒸气与基材接触。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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