[发明专利]沉积室表面增强和最后得到的沉积室

摘要

揭示了在基片上沉积薄膜用的装置内的暴露面进行钝化的方法。沉积室和与之相通管道的内表面经钝化处理而阻止了在沉积工艺中反应物和反应产物在所述内表面上的吸附或化学吸附。为此目的而进行的表面钝化处理包括表面处理、衬里、温度调节或它们的组合。还揭示了一种测量温度或温度范围的方法，该温度范围使得表面上反应物和反应产物积聚的量最小。也揭示了在沉积室和气体流通管道内表面钝化的沉积装置。

主权项

1.在至少一种基片上沉积至少一种材料的薄膜的装置，其包括：沉积室，它构建成在其室内接受至少一个基片；以及许多与沉积室相通的管道；其特征在于，当该沉积室在至少一个基片上沉积至少一种材料的薄膜时，该沉积室和许多管道包括暴露在至少一种反应物气体或蒸气中的内表面；以及内表面的至少一部分能抵抗至少一种反应物气体或蒸气在其表面积聚。