[发明专利]用于测量镀覆的衬底的光学性质的测量装置无效
| 申请号： | 200410075195.2 | 申请日： | 2004-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN1699964A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 汉斯－格奥尔格·洛茨;彼得·索尔;斯特凡·海因;彼得·斯库克 | 申请（专利权）人： | 应用薄膜有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00;G01N21/17 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 车文;顾红霞 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量装置，其包括几个依次设置的镀覆腔，用于测量镀覆的衬底的光学性质。这些镀覆腔相互之间被隔离壁隔开，隔离壁的自由端安装在靠近衬底的上方。衬底最好是连续的薄膜。通过在各个镀覆腔之间测量衬底的反射、透射等，使得在仅仅部分完成的层系统中实现测量成为可能。这就实现了对镀覆过程的技术操作进行控制的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 镀覆 衬底 光学 性质 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量在镀覆装置内的镀覆的衬底的光学性质的测量装置，所述镀覆装置包括几个依次设置的镀覆腔，这些镀覆腔之间设有隔离壁，隔离壁的自由端安装在靠近衬底的上方，衬底从一个腔传送到另一个腔，其特征在于，测量装置(65，66，67)安装在隔离壁(18-23)的自由端(49-54)上。
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