[发明专利]激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置

摘要

本发明涉及一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置，属于表面形状测量技术领域，特别适应于超精密圆柱度测量装置。本发明将激光透反组合监测补偿技术、主副双导轨直行技术和隔离式抗干扰驱动技术集为一体，以激光光束作为物理基准，依据导轨直线运动基准运动误差对圆柱度测量装置测量结果的作用规律，提供一种基于激光透、反组合监测补偿式主副双导轨结构的超精密圆柱度直线运动基准装置，克服了已有圆柱度测量装置直线运动基准技术的不足。

主权项

1.一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置，包括主导轨立柱(16)、主导轨套(19)，其特征在于该装置还包括：平行于主导轨套(19)运动方向的激光光束(10)、依次放置在沿激光光束(10)方向上的半透半反平面镜(6)、放置在主导轨套上的检测主导轨套偏移量的激光透射光束对心监测系统(4)、放置在半透半反平面镜(6)反射光束方向上的主导轨套角漂量光电检测系统(13)构成的导轨运动误差激光透反监测系统；与主导轨立柱(16)平行设置的副导轨立柱(17)、其上设置副导轨套(18)、柔性连接带(15)通过滑轮机构(14)连接主导轨套(19)和副导轨套(18)构成的主副双导轨直行系统；直流驱动电机(22)、精密丝杠(21)、与副导轨套(18)相联的解耦驱动式丝杠螺母连接机构(20)、固结在副导轨套(18)上的指示光栅(8)、与副导轨立柱(17)平行设置的测高标尺光栅尺(9)构成的隔离式抗干扰驱动及测高系统。