[发明专利]芯片封装中的磁性材料底部填充方法无效

专利信息
申请号: 200410052865.9 申请日: 2004-07-15
公开(公告)号: CN1588633A 公开(公告)日: 2005-03-02
发明(设计)人: 叶献方;丁汉 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: H01L21/54 分类号: H01L21/54;H01L21/56
代理公司: 上海交达专利事务所 代理人: 毛翠莹
地址: 200240*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种芯片封装中的磁性材料底部填充方法,采用的填充材料中,以磁性微粉材料部分代替SiO2,在电磁扫描机构的一个扫描轴上安装一个电磁激励头,并将电磁激励头置于芯片的上方或者基底的下方,在滴胶填充过程中施加外部电磁力,激励电磁激励头始终处于填充材料的前沿位置沿着滴胶的方向扫描,引导磁性有机材料进行填充。本发明磁性填充材料制备容易,扫描机构简单,易于嵌入现有封装生产线,采用外部电磁力作用,使填充时间显著减少,不仅提高了封装效率,还能有效避免填充缺陷,提高器件可靠性。
搜索关键词: 芯片 封装 中的 磁性材料 底部 填充 方法
【主权项】:
1、一种芯片封装中的磁性材料底部填充方法,其特征在于包括如下步骤:1)在主要成分为环氧树脂与SiO2的常规流动填充材料的基础上,以磁性微粉材料部分取代SiO2,得到的磁性填充复合材料中,磁性微粉材料的重量百分比为30~60%;2)将电磁激励头(1)通过激励头架(6)固定在电磁扫描机构中的一个扫描轴上,并将电磁激励头(1)置于芯片(2)的正上方或基底(3)的正下方,使激励头(1)靠近待填充空间而不接触芯片(2)或基底(3);3)采用滴胶装置沿芯片的某个选定的边均匀滴胶,环境温度维持在60℃~80℃;4)在滴胶的同时,接通电磁扫描机构的电源,使电磁激励头(1)产生电磁场,电流频率为50Hz~1KHz,在填充过程中,电磁激励头(1)始终处于填充材料的前沿位置且运动方向与芯片选定的滴胶边平行,通过逐行扫描实现磁性复合材料的完全填充。
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