[发明专利]超低成本固态存储器

摘要

一种由多个位线、多个层、多个树结构以及多个板线形成的铁电三维固态存储器。位线排列在第一平面中并且沿第一方向延伸。每一层具有一个铁电电容器存储器单元阵列。每个树结构对应于一个位线并且具有树干部分和多个树枝部分。每个树结构的树干部分从相应的位线上伸出。每个树枝部分对应于一个层并且从树结构的树干部分上伸出。板线排列在第一层中并且在多个交叉区域与对应层中的每个树结构的树枝部分重叠。0T－FeRAM存储器单元位于一个层中的每个交叉区域上。

主权项

1.一种存储装置，包括：多个位线，所述多个位线形成在一衬底上，并基本排列在第一平面中并且基本沿第一方向延伸；多个层，每一层具有一个铁电电容器存储器单元阵列；多个树结构，至少一个树结构对应于每个位线，每个树结构具有一树干部分和多个树枝部分，树结构的每个树枝部分对应于一个层，每个树结构的树干部分从所述衬底伸出，树结构的每个树枝部分在对应于该树枝部分的层中从该树结构的树干部分上伸出；以及多个板线，所述多个板线排列在每一个层中，且该多个板线的每一个在多个交叉区域与在对应层中延伸的每个树结构的树枝部分重叠，铁电电容器存储器单元位于一个层中的每个交叉区域。