[发明专利]具有密闭密封腔和集成光学元件的光电子器件封装有效

专利信息
申请号: 200410042848.7 申请日: 2004-05-26
公开(公告)号: CN1599158A 公开(公告)日: 2005-03-23
发明(设计)人: 布伦顿·A·鲍;丹耶·J·斯奈德;肯德拉·盖洛普 申请(专利权)人: 安捷伦科技有限公司
主分类号: H01S5/022 分类号: H01S5/022;H01S5/026;H01L23/02;H01L23/00;H01L25/00;H01L27/00;H01L21/50
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人: 柳春雷
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明公开了一种光电子器件的封装件,包括其中集成了反射镜或其他光学元件的密闭密封腔。对于边缘发射激光器,集成的反射镜在腔内改变激光器发射的光的方向,使得光穿过封装件的顶部表面出射。可以对个体的激光器或者在晶片级上来实现该封装。晶片级工艺在第一晶片上制作底座,在第二晶片上制作具有反射区的凹入部分,将光电子器件电连接到第一晶片上的各个底座,并将第二晶片接合到第一晶片,使得激光器被密闭地密封到对应于第二晶片上的凹入部分的腔中。凹入部分中的反射区作为边缘发射激光器的偏转反射镜。
搜索关键词: 具有 密闭 密封 集成 光学 元件 光电子 器件 封装
【主权项】:
1.一种结构,包括:光电子器件;底座,其包含被电连接到所述光电子器件的电迹线;以及顶罩,其被固定到所述底座上以形成封住所述光电子器件的腔,其中,所述顶罩包括位于所述光电子器件的光信号的路径上的光学元件。
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