[发明专利]一种制备大面积铁电薄膜的方法无效
| 申请号： | 200410018579.0 | 申请日： | 2004-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN1581530A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 仇萍荪;丁爱丽;何夕云;程文秀;郑鑫森 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;B05D1/30;B05D5/12 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 20005*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种制备均匀大面积铁电薄膜的方法，属于铁电薄膜制备领域。其特征在于采用化学匀胶成膜的方法制备铁电薄膜。关键是改进了匀胶台吸盘的气路槽和优化工艺参数。设计的气路槽宽减小至0.8－1.5mm，槽深减至0.5－0.8mm，增加了槽的数量由圆环状改为发射状，且工艺参数优化，与原来较深的圆槽相比，匀胶后的膜颜色均匀，没有衍射环，所制备的4英寸PZT铁电薄膜厚度均匀性和性能均匀性偏差分别为2.5％和3％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 大面积 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1、一种大面积铁电薄膜的制备方法，按制备的铁电薄膜的配置成溶液，选定基片，然后用匀胶法制备薄膜，其特征在于基片放在改进后的发射状吸气盘上，将溶液均匀滴在基片上，甩胶速度控制在3000-5000转/分钟，时间20-40秒；然后放在320-420℃的热板上预烧结10-15分钟，经5-10次成膜—预烧结—再成膜制成铁电薄膜，最后经650-750℃，氧气氛下快速退火处理；所述的改进后发射状吸气盘圆槽的宽度为0.8-1.5mm；深度为0.5-0.8mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海硅酸盐研究所，未经中国科学院上海硅酸盐研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410018579.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：采用以太网线作为IP控制信道的客户网络接口方法
- 下一篇：防腐蚀防火缆索
