[发明专利]一种制备大面积铁电薄膜的方法无效
| 申请号： | 200410018579.0 | 申请日： | 2004-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN1581530A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 仇萍荪;丁爱丽;何夕云;程文秀;郑鑫森 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;B05D1/30;B05D5/12 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 20005*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 大面积 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
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