[发明专利]反射式相位型焦点区域光强分布调节系统无效
| 申请号: | 200410018421.3 | 申请日: | 2004-05-18 |
| 公开(公告)号: | CN1580872A | 公开(公告)日: | 2005-02-16 |
| 发明(设计)人: | 高秀敏;徐文东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01;G02B5/00 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
| 地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 一种反射式相位型焦点区域光强分布调节系统,该系统的构成:一光源,沿着该光源所发光束的前进方向依次同光轴地置有分光镜、相位调制反射镜,该分光镜与光路成45°,该相位调制反射镜的反射面与光轴垂直,一物镜位于该分光镜的反射光路上,所述的相位调制反射镜由多个反射部件构成,反射部件通过相应的连杆与相应的位移驱动器相连。调节反射部件反射面轴向位置,可以改变焦点区域的光强分布。调节过程方便,容易加入现有的光学系统中,以及实现自动调节。 | ||
| 搜索关键词: | 反射 相位 焦点 区域 分布 调节 系统 | ||
【主权项】:
1、一种反射式相位型焦点区域光强分布调节系统,其特征在于该系统的构成:一光源(1),沿该光源(1)所发光束的前进方向依次同光轴地置有分光镜(3)、相位调制反射镜(6),该相位调制反射镜(6)的反射面与光轴垂直,一物镜(4)位于该分光镜(3)的反射光路上,所述的相位调制反射镜(6)由多个反射部件组成,每个反射部件通过相应的连杆与相应的位移驱动器相连。
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