[发明专利]电荷检测装置

摘要

本发明提供一种电荷检测装置，能低电压且高效率地将蓄积电荷转换为电压，另外输出电压的动态范围大，转换效率的线性良好。其具备由在P阱(101)内的低浓度N型(N^－)层(108)及在N^－层和主表面之间形成的高浓度N型(N⁺)层构成的电荷蓄积部，N⁺层与输出电路的放大用晶体管(405)的输入端子连接，在蓄积电荷的排出中对N⁺层加反向偏置电压后，至少到蓄积饱和电荷之前，N^－层全部耗尽。

主权项

1.一种电荷检测装置，具备电荷蓄积部，该电荷蓄积部包括在包含一主表面的半导体衬底上形成的第1导电型的第1区域、在上述第1区域内形成的第2导电型的第2区域、及在上述第2区域和主表面之间形成的第2导电型的第3区域；上述第3区域与输出电路的输入端子连接，对上述第3区域施加了将蓄积在上述电荷蓄积部中的蓄积电荷排出的复位电压之后，上述第2区域全部耗尽。