[发明专利]用来支撑基材的末端受动器组件有效

专利信息
申请号: 200380106423.1 申请日: 2003-12-15
公开(公告)号: CN1726589A 公开(公告)日: 2006-01-25
发明(设计)人: 温德尔·T·布伦尼格;松本贵之;威廉·N·斯特林;比利·C·梁 申请(专利权)人: 应用材料股份有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 上海隆天新高专利商标代理有限公司 代理人: 楼仙英
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供一种用于基材输送机械臂上的末端受动器组件。在一实施例中,一用来在基材运送期间支撑一四边形基材的末端受动器组件包括一末端受动器,其具有一设置在第一端的内缘支撑件及一设置在远程的第一外缘支撑件。该末端受动器的第一端是被设计来耦合至一机械臂连杆。该第一内缘支撑件具有一个平行于且面向该第一外缘支撑件的面。边缘支撑件的结构将基材保持在该末端受动器上,借以让基材在运送期间的滑移减至最小。在另一实施例中,侧向导件可被用来进一步强化沿着开放在内缘及外缘支撑件间的基材边缘的基材捕捉性。
搜索关键词: 用来 支撑 基材 末端 受动器 组件
【主权项】:
1.一种末端受动器组件,用以在基材输送期间支撑一四边形基材,该末端受动器至少包含:一末端受动器,具有一第一端用以耦接至一机械臂连杆与一远程;一第一内缘支撑件,其被设置在末端受动器的第一端且具有一面;及一第一外缘支撑件,其被设置在末端受动器的远程且具有与该第一内缘支撑件的所述面相面对且相平行的一面。
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