[发明专利]用来支撑基材的末端受动器组件有效
申请号: | 200380106423.1 | 申请日: | 2003-12-15 |
公开(公告)号: | CN1726589A | 公开(公告)日: | 2006-01-25 |
发明(设计)人: | 温德尔·T·布伦尼格;松本贵之;威廉·N·斯特林;比利·C·梁 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 楼仙英 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供一种用于基材输送机械臂上的末端受动器组件。在一实施例中,一用来在基材运送期间支撑一四边形基材的末端受动器组件包括一末端受动器,其具有一设置在第一端的内缘支撑件及一设置在远程的第一外缘支撑件。该末端受动器的第一端是被设计来耦合至一机械臂连杆。该第一内缘支撑件具有一个平行于且面向该第一外缘支撑件的面。边缘支撑件的结构将基材保持在该末端受动器上,借以让基材在运送期间的滑移减至最小。在另一实施例中,侧向导件可被用来进一步强化沿着开放在内缘及外缘支撑件间的基材边缘的基材捕捉性。 | ||
搜索关键词: | 用来 支撑 基材 末端 受动器 组件 | ||
【主权项】:
1.一种末端受动器组件,用以在基材输送期间支撑一四边形基材,该末端受动器至少包含:一末端受动器,具有一第一端用以耦接至一机械臂连杆与一远程;一第一内缘支撑件,其被设置在末端受动器的第一端且具有一面;及一第一外缘支撑件,其被设置在末端受动器的远程且具有与该第一内缘支撑件的所述面相面对且相平行的一面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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