[发明专利]研磨液组合物有效
申请号: | 200310124748.4 | 申请日: | 2003-12-26 |
公开(公告)号: | CN1517389A | 公开(公告)日: | 2004-08-04 |
发明(设计)人: | 北山博昭;藤井滋夫 | 申请(专利权)人: | 花王株式会社 |
主分类号: | C08J5/14 | 分类号: | C08J5/14;C09K3/14 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 邰红;庞立志 |
地址: | 日本东京*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供:由具有2个以上离子型亲水基团的表面活性剂组成的用于研磨精密部件用基板的微小波纹减少剂;由具有OH基或SH基的总碳原子数为2~15的多元羧酸化合物或其盐形成的用于研磨精密部件用基板的微小波纹减少剂;含有该微小波纹减少剂、研磨材料和水的用于研磨精密部件用基板的研磨液组合物;含有水、研磨材料、有机酸或其盐和表面活性剂的研磨液组合物,其中的有机酸是具有OH基或SH基的总碳原子数为2~15个的多元羧酸,而且,表面活性剂的分子中具有2个以上离子型亲水基团,分子量为300以上;用于减少精密部件用基板上微小波纹的方法;及精密部件用基板的制造方法。 | ||
搜索关键词: | 研磨 组合 | ||
【主权项】:
1、一种由具有2个以上离子型亲水基团的表面活性剂组成的用于研磨精密部件用基板的微小波纹减少剂。
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