[发明专利]基片传送装置、取出基片的方法和容纳基片的方法有效
| 申请号： | 200310122288.1 | 申请日： | 2003-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1504396A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吉泽武德;海野重信 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李瑞海;王景刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种基片传送装置，用于取出以水平状态容纳在基片容纳托盘中的基片，其包括多个支撑销，用于将在基片容纳托盘中所容纳的基片升起到基片容纳托盘的上方。基片容纳托盘包括多个开孔，多个支撑销能够穿过它们插入。多个支撑销相对于基片容纳托盘向上移动，并穿过基片容纳托盘上的多个开孔插入，以升起基片。多个支撑销中的每个都具有足够的长度，能穿过竖直堆放的多个基片容纳托盘垂直插入。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 装置 取出 方法 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种基片传送装置，用于从基片容纳托盘中取出基片，基片容纳托盘以水平状态容纳基片，该基片传送装置包括：多个支撑销，用于将基片容纳托盘中所容纳的基片升起到该基片容纳托盘的上方，其中：基片容纳托盘包括多个开孔，多个支撑销能够穿过它们插入，多个支撑销相对于基片容纳托盘向上移动，并穿过基片容纳托盘的多个开孔插入，以升起基片，和多个支撑销中的每一个，其长度都足够垂直地穿过竖直堆放的多个基片容纳托盘。
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