[发明专利]具有集成移动传感器的微型机电器件无效
| 申请号: | 200310113184.4 | 申请日: | 2000-05-24 |
| 公开(公告)号: | CN1519118A | 公开(公告)日: | 2004-08-11 |
| 发明(设计)人: | 卡·西尔弗布鲁克 | 申请(专利权)人: | 西尔弗布鲁克研究股份有限公司 |
| 主分类号: | B41J2/045 | 分类号: | B41J2/045;B81B3/00 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李德山 |
| 地址: | 澳大利亚*** | 国省代码: | 澳大利亚;AU |
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| 摘要: | 本发明涉及一种具有集成移动传感器的微型机电器件,包括一支撑结构和一个臂,该臂在流经至少部分臂的热感应电流的影响下相对于所述支撑结构可移动。该微型机电器件包括一个移动传感器,所述移动传感器具有与可移动臂成为一体或安装在可移动臂上的至少一部分。移动传感器检测臂相对于基底的移动量、移动速度和预定量的移动。这可以通过设置两个电触点来实现,一个电触点在臂上,另一个电触点在支撑结构上,当臂移动时它们彼此啮合。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 集成 移动 传感器 微型 机电 器件 | ||
【主权项】:
1.微型机电器件,包括:支撑结构;臂,在流经至少部分臂的热感应电流的影响下相对于所述支撑结构可移动;移动传感器,用于确定所述臂相对于所述支撑结构的移动,所述移动传感器包括与所述臂成为一体或安装在所述臂上的第一部分。
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