[发明专利]岛状突起修饰部件及其制造方法和采用它的装置

摘要

本发明在于在成膜装置、等离子体处理装置中，为防止因膜状物质剥离而造成膜或等离子体处理的制品的污染以及必须频繁地更换用于该装置的部件，提供一种岛状突起修饰部件及其制造方法和采用它的装置。在部件的表面利用宽度和高度在数μm到数百μm范围且以球状或吊钟形的岛状突起修饰的玻璃修饰部件用于成膜装置、等离子体处理装置时，因膜状物质相对该部件保持性较高、耐等离子体化性能优良，故无尘埃、颗粒，可解决制品污染。另外，由于该形状的修饰部件气孔极少，颗粒或气体排放少，另外因岛状突起与基材的热膨胀率差而造成的应力较小即使加热也不发生剥离，故适用于真空装置。

主权项

1.一种岛状突起修饰部件，其中，在基材上，具有宽度在5～300μm的范围内、高度在2～200μm的范围内的岛状突起，该岛状突起的整体形状带有球体，并且岛状突起的个数在20～5000个/mm2的范围内。