[发明专利]具有可移动光波导的微电机系统可变光衰减器以及用于操作可移动光波导的方法无效
| 申请号： | 200310102593.4 | 申请日： | 2003-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1576920A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 李浈铉;郑成天;洪允植 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B26/02;H04B10/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜;谷惠敏 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS可变光衰减器。该MEMS可变光衰减器包括衬底，具有平坦上表面；光发射和接收端，安置在所述衬底的上表面上；可移动光波导，安置在使光发射和接收端间传送的光衰减最大量的位置处；微型激励器，安置在衬底上，用于移动所述可移动光波导；以及电压提供单元，用于向所述微型激励器提供驱动电压，其中，所述微型激励器移动所述可移动光波导以便根据增加由所述电压提供单元提供的驱动电压，使所述光衰减量减小。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 波导 微电机 系统 可变 衰减器 以及 用于 操作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS(微电机系统)可变光衰减器，包括：衬底，具有平坦上表面；光发射和接收端，安置在所述衬底的上表面上，以便所述端的光轴彼此重合；可移动光波导，安置在使光发射和接收端间传送的光衰减最大量的位置处；微型激励器，安置在衬底上，用于移动所述可移动光波导；以及电压提供单元，用于向所述微型激励器提供驱动电压，其中，所述微型激励器移动所述可移动光波导，以便根据增加由所述电压提供单元提供的驱动电压，使所述光衰减量减小。
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