[发明专利]单个晶体管DRAM单元结构及其形成方法有效

专利信息
申请号: 03824916.2 申请日: 2003-08-28
公开(公告)号: CN1695250A 公开(公告)日: 2005-11-09
发明(设计)人: 詹姆士·D·比尔内特 申请(专利权)人: 飞思卡尔半导体公司
主分类号: H01L29/10 分类号: H01L29/10;H01L29/786
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 樊卫民;钟强
地址: 美国得*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 单个晶体管DRAM单元(10)形成在SOI衬底(12、14)中,以便DRAM单元形成在相互电隔离的体区中。每个单元(10)具有用作源和漏接触的掺杂区(36,42)。在漏接触(42)和体区(16)之间是有助于碰撞电离并由此在编程期间形成电子/空穴、并且是与体区(16)相同的导电类型而比体区(16)高浓度的区域(40)。邻近源接触(36)和邻近体区(16)的是在擦除期间有助于二极管电流并与源接触(36)相同导电类型而比源接触(36)低浓度的区域(38)。
搜索关键词: 单个 晶体管 dram 单元 结构 及其 形成 方法
【主权项】:
1.一种单个晶体管动态随机存取存储器(DRAM)单元,包括:晶体管,具有第一漏/源区、第二漏/源区、在第一和第二漏/源区之间的体区以及在体区上方的栅极,其中邻近体区的第一漏/源区的一部分的掺杂浓度与邻近体区的第二漏/源区的一部分的掺杂浓度不同。
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