[发明专利]场效晶体管、其使用及其制造有效
申请号: | 03816779.4 | 申请日: | 2003-06-12 |
公开(公告)号: | CN1669152A | 公开(公告)日: | 2005-09-14 |
发明(设计)人: | R·卡科斯奇科;H·图斯 | 申请(专利权)人: | 因芬尼昂技术股份公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张雪梅;梁永 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明提供有关具有一半导体层(10)的一垂直场效晶体管的解释,而在其中,一已掺杂沟道区域乃会沿着一凹陷(72)而配置。一“埋藏”终端区域(18,54)会导通至该半导体层的一表面,因此,该场效晶体管乃具有杰出的电性特质,并且可以简单的制造。 | ||
搜索关键词: | 晶体管 使用 及其 制造 | ||
【主权项】:
1.一种场效晶体管(222),包括:一已掺杂沟道区域,沿着一凹陷(72)而配置;一已掺杂终端区域(16),靠近该凹陷(72)的一开口;一已掺杂终端区域(18),远离该开口;一控制区域(172),配置于该凹陷(72)中;以及一电性绝缘区域(170),位在该控制区域(172)以及该沟道区域间,其中,远离该开口的终端区域(18,54)乃导通至包含该开口的一表面、或是被电传导连接至导通到该表面的一电传导连接。
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