[发明专利]ALD装置和方法

摘要

本发明提供了一种原子层沉积设备和方法，其能够提高化学试剂剂量调配以及清理的效率。所述设备包括用于处理室维护的集成式结构和程序。

主权项

1.一种原子层沉积系统，包括：一个原子层沉积室(“沉积室”)，其包括一个基板保持器和一个加热器；一个抽取气体导入室(“DGIC”)；一个沉积室节流元件(“FRE”)，其以流体连通的方式串联在所述沉积室与所述DGIC之间；一个抽取气体源；一个抽取源截止阀，其以流体连通的方式串联在所述抽取气体源与所述DGIC之间；一个抽取源FRE，其以流体连通的方式串联在所述抽取气体源与所述DGIC之间；一个抽取控制室；一个DGIC-FRE，其以流体连通的方式串联在所述DGIC与所述抽取控制室之间；一个抽取控制出口，其以流体连通的方式串联着所述抽取控制室；一个真空泵，其以流体连通的方式串联着所述抽取控制出口；一个抽取控制FRE，其以流体连通的方式串联在所述抽取控制出口与所述真空泵之间；多个化学气体源；多个增压室，每个所述增压室均以流体连通的方式串联着一个相应的化学气体源；多个化学试剂源FRE，每个所述化学试剂源FRE均以流体连通的方式串联在一个相应的化学气体源与一个相应的增压室之间；多个化学试剂剂量调配截止阀，每个所述化学试剂剂量调配截止阀均以流体连通的方式串联在一个相应的增压室与所述沉积室之间；多个增压室FRE，每个所述增压室FRE均以流体连通的方式串联在一个相应的增压室与所述沉积室之间；一个清理气体源；一个清理源截止阀，其以流体连通的方式串联在所述清理气体源与所述沉积室之间；以及一个清理源FRE，其以流体连通的方式串联在所述清理气体源与所述沉积室之间。