[发明专利]测试探针对准设备

摘要

一种测试探针对准设备包含一个可旋转平台，其与工件定位用平台分离，因此工件定位用平台可以使工件移动于一X－Y平面中而不会移动θ平台，从而抑制工件定位用平台中的震动及惯性，并提高工件移动的速度及精度。θ平台被驱动，绕着一个基本上垂直于X－Y平面的轴线进行旋转。可旋转平台支撑着一个适合于保持住探针卡的台架。台架与θ平台一起旋转，从而关于工件对准探针卡。Z平台以一种可操作方式与台架相衔接，用以使台架沿着关于工件的旋转轴线移动。一个计算机处理器通过位置传感器的测量，针对预先编程的移动向量施行座标转换，用以对工件的角度未对准进行调整。

主权项

1.一种测试探针对准设备，其用于使一组测试探针对准基底上的接触区域，该基底被支撑在一个卡盘上而接近该测试探针对准设备，并且被驱动以移动于一平面中，该测试探针对准设备包含：一个可旋转式平台，其具有一根旋转轴线，该轴线基本上垂直于该卡盘的移动的该平面，该可旋转式平台被与该卡盘分开以使该卡盘能够在该平面中移动而不会使该可旋转式平台随之移动；一个台架，其被支撑在该可旋转式平台上以与其一起旋转，该台架适合用以支持该组测试探针；以及一个平移式平台，其以一种可操作方式与该台架相衔接，并且被驱动以使该台架相对于该旋转式平台，沿着该可旋转式平台的该旋转轴线方向进行线性平移，从而使该测试探针移动进入与该接触区域的衔接状态之中；该可旋转式平台的旋转会致使该组测试探针绕着该旋转轴线进行旋转，用以在该测试探针移动进入与该接触区域相衔接之前，使该测试探针与接触区域对准。