[发明专利]利用机器人分划板末端执行器来输送和加装分划板所用的方法和装置有效
| 申请号： | 03101059.8 | 申请日： | 2003-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN1433940A | 公开（公告）日： | 2003-08-06 |
| 发明（设计）人： | 格伦·M·弗莱德曼;彼得·克切尔斯伯格;约瑟夫·拉根扎 | 申请（专利权）人： | ASML美国公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G47/88;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张祖昌 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 将分划板输送及加装到一个接收台(例如一个分划板曝光台)上所用的一种装置和方法。首先利用一个末端执行器将分划板从存储装置中取出，该末端执行器具有一个与安装盘相连接的分划板盘。安装盘用于使末端执行器与一个机器人臂相连。在脱机对准台中的一个平面外位置中将分划板对准。所述的对准与在接收台处所要求的对准相符合。在脱机对准台处将分划板对准之后，将分划板安装到分划板盘上。然后，将分划板从脱机对准台输送到接收台上，同时保持在脱机对准台上所预先完成的对准。该装置还为安装的分划板提供硬度以保证符合接收台处的对准要求。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 机器人 分划板 末端 执行 输送 加装分划板 所用 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种将分划板输送和加装到一个接收台上的方法，该方法包括如下步骤：(a)利用一个末端执行器将分划板从存储装置中取回，该末端执行器具有一个与安装盘连接的分划板盘，安装盘将末端执行器连接到一个机器人臂上；(b)在一个脱机对准台中对分划板进行预先对准之后将分划板安装到分划板盘上；(c)将分划板从脱机对准台输送到接收台上，同时保持所述的预先对准并在输送过程中提供硬度。
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