[发明专利]等离子体外部化学气相沉积用多火炬－多靶方法和设备无效
| 申请号： | 02809775.0 | 申请日： | 2002-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1599701A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 米哈伊尔I·格斯科夫;伊夫管尼B·丹尼洛夫;芒德A·阿斯拉米;吴道 | 申请（专利权）人： | 纤维管有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/027 | 分类号： | C03B37/027;C03B37/029 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 钟守期;马崇德 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一个单独的等离子体喷灯(plasma burner)(4a)沉积烟灰材料(soot material)到多个旋转的平行靶(2a、2b、2c)上。所有靶同时生长。结果是多个用于光纤的型坯。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 外部 化学 沉积 火炬 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种成形光纤型坯的方法，包括下列步骤：提供第一等离子体火炬，它具有耦合(coupling)等离子体能量用线圈，所述线圈具有第一直径；提供多个靶，每个具有一个纵轴，所述纵轴排列成彼此间相隔一定法向间距；使所述多个靶围绕彼此平行的旋转轴同时地旋转；采用所述第一等离子体火炬同时地沉积玻璃到所述多个靶上，形成多个中间型坯，每个具有第一型坯直径；提供多个第二等离子体火炬，每个具有耦合等离子体能量用线圈，所述线圈每一个具有第二直径，所述第二直径小于所述第一直径；以及采用所述多个第二等离子体火炬沉积玻璃到所述多个中间型坯上，形成相应的多个最终型坯。
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