[发明专利]等离子体外部化学气相沉积用多火炬－多靶方法和设备无效
| 申请号： | 02809775.0 | 申请日： | 2002-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1599701A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 米哈伊尔I·格斯科夫;伊夫管尼B·丹尼洛夫;芒德A·阿斯拉米;吴道 | 申请（专利权）人： | 纤维管有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/027 | 分类号： | C03B37/027;C03B37/029 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 钟守期;马崇德 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 外部 化学 沉积 火炬 方法 设备 | ||
【说明书】：
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