[实用新型]一种量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器无效
| 申请号： | 02266744.X | 申请日： | 2002-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN2570793Y | 公开（公告）日： | 2003-09-03 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种量程可达200万m/s2以上的微机械加速度传感器。其特征在于由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架中，并且上、下玻璃盖板键合在一起；敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处，另外两条设置在中央薄板的中间。所提供的传感器的固有频率可达700KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量程 200 s2 微机 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于：(1)它由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；(2)由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片(A)封装在框架中，并且上、下玻璃盖板键合在一起；(3)敏感芯片(A)采用结构对称的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处，另外两条设置在中央薄板的中间。
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- 一种量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器-02266744.X
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- 2002-08-30 - 2003-09-03 -
- 本实用新型涉及一种量程可达200万m/s2以上的微机械加速度传感器。其特征在于由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架中，并且上、下玻璃盖板键合在一起；敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处，另外两条设置在中央薄板的中间。所提供的传感器的固有频率可达700KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。
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