[发明专利]平板显示器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种平板显示器及其制造方法，该显示器具有大电容和高孔径比。在绝缘衬底上形成一薄膜晶体管和一电容器。所述薄膜晶体管包括一半导体层、一栅电极、以及源电极和漏电极。所述电容器具有第一和第二电容器电极以及一层介电层。在晶体管上形成一绝缘层来绝缘栅电极与源和漏电极，部分绝缘层形成为第一和第二电容器电极之间的介电层。一非平面形状的第一电容器电极和一相应形状的介电层、以及一第二电容器电极增加了电容器的容量。绝缘层的用作电容器电介质的部分形成得比绝缘层在栅电极上形成的部分薄。

主权项

1.一种平板显示器，包括：一绝缘衬底，其包括一薄膜晶体管区和一电容器区，所述薄膜晶体管区包括一个具有一半导体层、一栅电极、以及源电极和漏电极的薄膜晶体管，所述电容器区包括具有第一和第二电容器电极的一电容器；以及一绝缘层，其包括：形成在所述薄膜晶体管区上的第一部分，其将栅电极与源和漏电极绝缘，以及形成在所述电容器区上的第二部分，且其在所述第一电容器电极和第二电容器电极之间形成一介电层，其中第一部分的厚度大于第二部分的厚度。