[发明专利]真空排气系统及其监视·控制方法

摘要

本发明提供一种可以延长寿命、提高生产效率的真空排气系统。包括具有多个监视区域的排气泵系统2；分别设在监视区域上的分别独立地检测监视区域中的排气泵系统2的状态的传感器101、102、103、……、104；分别设在监视区域中加热器201、202、203、……、204；分别接收来自传感器101、102、103、……、104的数据信号D1、D2、D3、……、Dm，比较该数据信号与阈值，当来自特定的传感器的数据信号超过了阈值时，只向配置了特定的传感器的监视区域的加热器选择性地供给加热用电力的监视·控制装置1。

主权项

1.一种真空排气系统包括：具有沿排气方向串联地排列的多个监视区域的排气泵系统；分别设置在监视区域的、用于分别独立地检测上述监视区域中的排气泵系统的状态的传感器；与该传感器成对的、分别设置在监视区域的加热器；分别接收来自传感器的数据信号，比较该数据信号与阈值，在来自特定的传感器的数据信号超过阈值时，选择性地只向配置了特定的传感器的监视区域的加热器供给加热用电力的监视·控制装置。