[发明专利]曝光物体的设备和方法无效
| 申请号： | 02140172.1 | 申请日： | 2002-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN1417644A | 公开（公告）日： | 2003-05-14 |
| 发明（设计）人： | 朴珍俊;具斗训 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/10 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜,谷惠敏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种曝光物体的方法和设备，用于提高光效率。产生具有均匀强度分布的光之后，光被折射成多个发散光束。然后，多个发散光束再次被折射成多个平行光束。利用多个平行光束的光曝光物体。因此，使原始光束和用于曝光物体的平行光束之间的光通量的差最小化，因而提高了该设备的光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 物体 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种曝光物体的方法，包括以下步骤：产生具有均匀强度分布的光束；将光束折射成多个发散光束；将多个发散光束折射成多个平行光束；和利用多个平行光束的光曝光物体。
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