[发明专利]声表面波元件及其制造方法以及使用该元件的声表面波装置及其制造方法有效
| 申请号： | 02127132.1 | 申请日： | 2002-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN1400734A | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 坂口健二;渡边雅信;高取光司 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H3/08;H01L21/60 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 孙敬国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种声表面波元件及其制造方法以及使用该元件的声表面波装置及其制造方法。声表面波装置具备声表面波元件1、封装容器20、及封装电极21。声表面波元件10包括压电基板1、接地电极4、中间电极7、上部电极8和补片电极9。中间电极7由Cr浓度15～30重量％的NiCr组成。接地电极4等电极衬垫、及上部电极8由Al组成。对补片电极9在施加超声波或热的同时，将补片电极9按压在封装电极21上面接合。本发明提供在落下试验中不会产生从封装容器上剥离，并特性良好的声表面波装置。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 元件 及其 制造 方法 以及 使用 装置 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波元件，其特征在于，包括压电基板、在所述压电基板的一主面上形成的梳形电极、在所述压电基板的所述一主面上形成的电极衬垫，在所述电极衬垫上形成的中间电极、在所述中间电极上形成的上部电极、及在所述上部电极上形成的补片电极，所述中间电极由拉伸应力低于规定值、并与所述电极衬垫或所述上部电极的粘接力大于规定值的金属薄膜组成。
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