[发明专利]DNA探针阵列合成和探测用的光开关阵列组合及其制造方法

摘要

一种用于DNA探针阵列进行光引导合成和杂交DNA探针阵列光激发探测的光开关阵列组合，包括硅片，光开关阵列，驱动电路和选址电路，光束引导孔，硅片，和DNA阵列。光开关工作基于法布里－珀罗空腔模式，该腔体由微机械加工形成，其由空气层隔开的两面平行镜子由介质薄膜构成。光开关选择性开启后引入光束照射玻璃片上的合成位置，从而得以进行光引导合成DNA探针。光开关选择性开启后引入光束照射玻璃片上的杂交DNA探针，激发杂交的DNA探针发射出荧光，从而得以对杂交的DNA探针进行光探测。

主权项

1.一种用于DNA探针光合成和杂交DNA探针光探测的光开关阵列组合，其特征结构包括：一硅片，一处于硅片内，以法布里-珀罗空腔模式工作的光开关阵列，一处于硅片内，促使光开关运行的驱动电路，若干处于硅片内的深孔，每个深孔对着一只光开关，并引导一束光线射向该光开关，一块置于硅片上的玻璃片，和一处于玻璃片上，由光引导合成的DNA阵列。