[发明专利]洗涤剂组合物无效
| 申请号： | 01808514.8 | 申请日： | 2001-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN1426452A | 公开（公告）日： | 2003-06-25 |
| 发明（设计）人： | 毛塚健彦;板野充司 | 申请（专利权）人： | 大金工业株式会社 |
| 主分类号： | C11D7/10 | 分类号： | C11D7/10;C11D7/50;H01L21/304;H01L21/308;//G03F7/42 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 丁业平,王维玉 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种洗涤剂组合物，所述的洗涤剂组合物包含(1)氟盐和二氟化氢盐中的至少一种；(2)含一个或多个杂原子的有机溶剂；和(3)水；一种使用该组合物清洗金属栅、接触孔、通路孔和电容器的方法；一种使用该组合物清除从抗蚀剂衍生来的残余聚合物的方法；一种使用该组合物在CMP之后进行清洁处理的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 洗涤剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种洗涤剂组合物，所述的洗涤剂组合物包含(1)氟盐和二氟化氢盐的至少一种；(2)含一个或多个杂原子的有机溶剂；和(3)水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大金工业株式会社，未经大金工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01808514.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：单位剂量洗涤剂的包装和其使用方法
- 下一篇：微型电子个人定位器信号灯
