[发明专利]感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 01803259.1 | 申请日： | 2001-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1394296A | 公开（公告）日： | 2003-01-29 |
| 发明（设计）人： | 高桥修一;池本准;盐田英和;河户俊二 | 申请（专利权）人： | 克拉瑞特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/022 | 分类号： | G03F7/022;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感光性树脂组合物，其包含碱溶性树脂与含醌二叠氮化物基团的光敏剂，其中，光敏剂包含具有不同平均酯化率的两种或多种酯的混合物，所述酯为由四羟基二苯甲酮与1，2－萘醌二叠氮化物磺酸形成的酯化产物。作为光敏剂，优选光敏剂A与光敏剂B的混合物，光敏剂A包含由四羟基二苯甲酮与1，2－萘醌二叠氮化物磺酸形成的平均酯化率为X％(50≤X≤100)的酯化产物，光敏剂B包含由四羟基二苯甲酮与1，2－萘醌二叠氮化物磺酸形成的平均酯化率为Y％(25≤Y≤(X－10))的酯化产物，混合比例A∶B为10－90∶90－10。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其包含一种碱溶性树脂与一种含醌二叠氮化物基团的光敏剂，其中，所述光敏剂包含具有不同平均酯化率的两种或多种酯的混合物，所述酯为由四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸形成的酯化产物。
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