[发明专利]在缺陷源识别器和工具数据收集及控制系统之间提供通信的方法和装置

摘要

一种方法和装置，用于在一个缺陷源识别器和一个工具数据收集及控制系统之间提供通信。缺陷源识别器收集缺陷数据，直至识别出缺陷为止。一旦识别出一个缺陷，便向工具数据收集和控制系统发出请求，以请求在发生该缺陷时的工具参数数据。工具数据收集及控制系统提取这些工具参数并通过网络把它们传送到缺陷源识别器。这些工具参数由缺陷源识别器处理以提取某些晶片数据。选定的晶片数据被传送到工具数据收集及控制系统，并用于执行一个预测模型以预测工具部件的可能故障。

主权项

1.处理半导体晶片的装置，包含：半导体晶片处理工具；缺陷源识别器，与至少一个计量站耦合，用于收集在半导体晶片处理工具中受处理的晶片的晶片信息；以及工具数据收集及控制系统，与缺陷源识别器和半导体晶片处理工具耦合，用于响应由缺陷源识别器收集的晶片数据，预测半导体晶片处理工具内的部件故障。