[实用新型]一种用于红外焦平面器件电极铟柱熔融处理装置

摘要

本实用新型公开了一种制备红外焦平面器件的工艺设备,具体是指一种用于红外焦平面器件电极铟柱熔融处理装置。包括加热块、样品架、卤素灯和温控仪等。特点是卤素灯置于加热块下部内孔中,待处理的样品通过样品架置于加热块上部腔体内,卤素灯由温控仪控制加热,使加热块上部腔体内均匀地达到一定温度,样品在助熔剂的帮助下铟柱就熔融,熔融的铟柱在氢气保护下不氧化,结构变得致密,改善了铟柱与电极的欧姆接触。

主权项

1.一种用于红外焦平面器件电极铟柱熔融处理装置，包括：加热块(3)、样品架(5)、卤素灯(7)、盖子(2)、保温层(4)、显微镜(1)和温控仪(10)，其特征在于：加热块(3)是一块导热性相当好的圆柱形金属块，其轴线方向上端中央呈腔体状(301)、下端中央有一圆柱孔(302)；上端中央腔体(301)内置有样品架(5)，待处理的样品(6)置于样品架内，在腔体(301)的底部边上有一输气管道(8)，腔体内侧面置有温度传感器(9)，温度传感器通过导线与外界温控仪(10)连接；下端中央圆柱孔(302)内置有卤素灯(7)，加载在卤素灯上的电压由温控仪(10)控制；在腔体上面盖有带透明玻璃窗口(201)的盖子(2)，盖子侧面有一使腔体维持流动氢气下的排气嘴(202)；盖子窗口上置有观察样品的显微镜(1)加热块外裹有保温层(11)。