[发明专利]湿度传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 01117856.6 | 申请日： | 2001-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1320817A | 公开（公告）日： | 2001-11-07 |
| 发明（设计）人： | 涩江明;南波宪良 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B05D5/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 林柏楠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种湿度传感器,它包含一对布置在绝缘基材上并在其两者之间划定了间隙的叉指形电极,位于划定了间隙的电极和基材上的一层硅烷化合物底涂层,以及位于底涂层上的一层湿度敏感薄膜。该湿度敏感薄膜是由一种带有烯属不饱和基团的导电聚合物的交联产物形成的,并且该薄膜借助一种互穿聚合物网络而被物理地结合到底涂层上。该传感器完全耐水,因此即使是在结露气氛中也能确保长期稳定地运作。该传感器没有滞后现象,而且能在非常宽的范围内测量湿度。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种湿度传感器，它包含一个绝缘基材，一对布置在基材上并在其两者之间划定了间隙的对立电极，至少位于间隙处的一层含硅底涂层，以及位于底涂层上的一层湿度敏感薄膜，所述湿度敏感薄膜含有一种带有烯属不饱和基团的导电聚合物的交联产物，并且该薄膜借助一种互穿聚合物网络而被物理地结合到所述底涂层上。
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