[发明专利]DNA－PCR生物芯片及使用该芯片的微型热循环器

摘要

DNA－PCR生物芯片及微型热循环器主要由两大部分组成。一部分是由MEMS工艺在硅片上制作的微井式反应室、集成铂电阻加热子和温度传感器于一体,并且封装在PCB板上构成的生物芯片;另一部分是由前级信号处理电路,单片机,显示器等组成的微型热循环器。进行DNA的扩增反应时,把注入样品的生物芯片插入热循环器中,通过程序设定即可开始PCR反应。DNA－PCR生物芯片及热循环器提供了一种快速、低廉、有效的DNA扩增手段。

主权项

1.一种DNA-PCR生物芯片，其特征在于：在硅片上刻蚀出一个微腔(1)作为反应器，在腔的相对的两边刻蚀有进样流通槽(2)，硅片的上面是玻璃盖板(3)，盖板上有两个进样孔(4)，其位置分别对应硅片上的两个进样流通槽(2)，硅片的下面是氮化硅薄膜(5)，也是微腔(1)的底，氮化硅薄膜(5)的下面是铂薄膜加热子(6)和温度传感器(7)。