[发明专利]衬底薄膜烧蚀方法及其设备

摘要

本发明涉及一种用于去除衬底材料上的薄膜层、更具体地说,是用于去除薄膜太阳能电池的阻挡层的装置和方法。本发明目的在于提供一种经济性的手段,以去除宽度达几毫米的条带而不损坏在被去除膜层下面的薄膜太阳能电池的衬底。为此目的,需要由激光器和光学系统组成的激光加工装置。光学系统将激光器产生的、光功率分布基本均匀的加工光束投影在待加工表面的1mm2至1cm2的区域上。能够以小于100ns的脉宽以及0.1J/cm2至10J/cm2脉冲能量密度的加工光束将薄膜层从衬底上有效地去除。

主权项

1.一种用于对衬底进行薄膜烧蚀，更具体地说，是对薄膜太阳能电池进行表面层烧蚀的设备，该设备包括：激光谐振腔，用于产生其脉冲宽度小于100ns、脉冲能量密度在0.1J/cm2至10J/cm2范围内的光脉冲加工光束；光学系统，用于以基本上均匀的功率分布，将激光谐振腔产生的加工光束成像到在1mm2至1cm2范围内的表面区域内的待加工表面上；第一定位器，用于工件与所述加工光束之间预定的相对运动；以及控制器，用于发出信号以命令所述第一定位器，利用基本上恒定的能量对所述工件待烧蚀的表面区域的各单元进行照射。