[实用新型]微机械力学性能测试仪无效
| 申请号： | 00226180.4 | 申请日： | 2000-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN2412212Y | 公开（公告）日： | 2000-12-27 |
| 发明（设计）人： | 蒋庄德;王海容;赵则祥;王朝晖;陈伟;伊燕玲;赵玉龙 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L3/10 | 分类号： | G01L3/10 |
| 代理公司： | 西安交通大学专利事务所 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种微机械力学性能测试仪,由压头卡具、真空装夹机构、Z向驱动装置、激光器、X/Y工作台、电容测微仪、CCD摄像机等组成,薄膜、MEMS器件、各种微机械小器件的力学性能测试,对不同尺度、下体积材料和微小构件力学性能进行研究。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 力学性能 测试仪 | ||
【主权项】：
1、微机械力学性能测试仪，包括一底座(7)，在底座(7)上连接有倒U形支架(6)和Z向驱动装置(5)，其特征在于，所说的Z向驱动装置(5)上固定一X/Y工作台(4)，工作台(4)内配置一力传感器(3)，X/Y工作台(4)上部装有真空装夹机构(10)，倒U形支架(6)内上部装有进给装置(11)，在进给装置(11)的输出端连接压头卡具(1)，压头卡具(1)上固定有装点压头(12)，在压头(12)靠近压入位置固定一平板(13)，电容测微仪(8)的两极板，一端固定在平板(13)上，另一端固定在进给装置(11)的静止部分。
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